粉塵傳感器可監(jiān)測集成電路生產(chǎn)過程中遇到的污染物
發(fā)布時間：2021-09-08
粉塵傳感器可監(jiān)測集成電路生產(chǎn)過程中遇到的污染物
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，許多工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)加工對生產(chǎn)環(huán)境的無塵車間工程中的粉塵濃度提出了很高的要求，這就要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度和 控制生產(chǎn)過程。 相關(guān)物質(zhì)的供應(yīng)質(zhì)量。 例如在膠片生產(chǎn)中，如果膠片沾染了灰塵，會使乳劑氧化，活性減弱，pH值發(fā)生變化，從而影響膠片的感光性能。 我們來看看半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)無塵室中使用的粉塵傳感器的解決方案。
集成電路制造業(yè)是一個在超純環(huán)境中使用超純材料進行超精細加工的行業(yè)。 半導(dǎo)體材料的提純是半導(dǎo)體器件發(fā)展的重要基礎(chǔ)。 由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為了獲得高純度的硅材料，原材料和中間體的高純度以及高精度恒溫恒濕的生產(chǎn)環(huán)境的清潔度 工程已成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的突出問題。
集成電路芯片的良率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中顆粒的數(shù)量有關(guān)。 因此，集成電路的飛速發(fā)展，不僅對控制空氣中粒子的大小提出了很高的要求，還需要進一步控制粒子的數(shù)量； 同時，也與超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無塵車間項目的化學(xué)污染控制有關(guān)。 要求。
集成電路生產(chǎn)中可能遇到的主要污染有：顆粒雜質(zhì)、無機離子、有機物、微生物、氣體雜質(zhì)。 廣義上講，不適宜的溫度、濕度、照度、過多的靜電、電磁噪聲、空氣噪聲、微振動也是特殊污染物。 其中，當顆粒雜質(zhì)、無機離子、有機物、微生物、氣體雜質(zhì)的含量超過一定限度時，會造成集成電路產(chǎn)品表面劃傷、圖案斷開、短路、針孔、剝落，導(dǎo)致電路 漏電，電氣特性異常。 較輕的會影響電路性能和使用壽命，較嚴重的會導(dǎo)致電路報廢。
針對這種情況，需要使用粉塵傳感器對半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)車間的環(huán)境進行監(jiān)測，確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達到潔凈標準。 Lovemay 推薦使用 LD13C 激光粉塵傳感器來感應(yīng)煙草、室內(nèi)灰塵等產(chǎn)生的煙霧和花粉。
